自清式心室导管的设计与制造。a)用二氧化硅(SiO2)释放层对单晶硅(Si)片进行聚酰亚胺自旋涂层和固化。b)铬蚀刻掩模的蒸发,并定义驱动器轮廓的光刻胶。c)铬(Cr)湿蚀刻和聚酰亚胺干蚀刻。d)去除Cr,蒸发金(Au)作为传导层。e)光刻胶和镍(Ni)电镀的应用。f)去除光刻胶和剩余Au层。g)制作的直线型(上)和蛇形(中)磁致动器光学图像。比例尺= 325 μm。带有集成驱动器的导管(底部)。 Scale bar = 1 mm. h A typical motion of actuation in deionized (DI) water for one actuation period. Credit:自然通讯(2022)。DOI: 10.1038 / s41467 - 022 - 28101 - 5